중국이 반도체 제조에서 가장 중요한 '노광장비'의 양산에 들어가면서 기술 자립에 속도를 내는 모습이다. 이 장비는 최근 증시에 상장해 중국 시가총액 1위에 오른 창신메모리(CXMT) 등에 납품될 예정이다.
28일 로이터 등에 따르면 상하이에 본사를 둔 국영기업이 자체 개발한 액침 심자외선(DUV) 노광장비 생산에 돌입했다. 해당 국영기업의 이름은 공개되지 않았지만, 상하이에 본사를 둔 스타트업 위량성(宇量昇)으로 추정된다.
아직 초기 단계여서 올해 5대, 내년에는 20대를 생산할 계획이다. 이 장비는 올해 안에 중국 주요 반도체 제조사인 CXMT, 중신궈지(SMIC), 화훙반도체 등에 공급될 예정이다.
중국이 미국의 수출 통제에 맞서 노광장비를 자체 생산하기 시작하면서 반도체 기술 자립에 탄력을 받을지 주목된다.
노광장비는 반도체 칩의 '설계도'를 실리콘 웨이퍼 위에 찍어내는 초정밀 프린터로, 반도체 제조에서 가장 중요한 장치다.
미국 주도 수출 통제로 네덜란드 ASML의 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비는 대중 수출이 금지돼 있다. 최상급 액침 DUV 장비 판매도 제한돼 있으며, 중국에 공급되는 장비는 최신 모델보다 8세대 뒤처진 제품이다.
미 하원을 통과한 '하드웨어 기술 통제 다자 동조법'(MATCH·매치법)은 중국 내 설치된 ASML DUV 장비(약 1400대)의 유지보수·부품 공급까지 차단하는 내용을 담고 있다.
ASML은 지난해에만 액침 DUV 장비 131대를 중국에 인도했지만, 중국의 자체 생산으로 수출량이 감소할 가능성이 커졌다. 이에 ASML 주가가 8.4% 급락하는 등 유럽·미국 반도체 장비주도 동반 하락했다.
중국산 DUV는 ASML 제품보다 성능이 뒤처져 있으며, 일부 핵심 부품을 일본에 의존하고 있어 생산 속도가 늦어질 수 있다는 분석도 있다. 중국은 EUV 장비도 시제품을 만든 단계로, 실제 양산까지는 수년이 걸릴 것으로 전망된다.