한국기술교육대학교는 19일 교내 산학협력관에서 나노·원자 수준의 초정밀 미세구조 분석이 가능한 '300kV 수차보정 투과전자현미경' 도입 기념식을 개최했다고 밝혔다.
한기대에 따르면 이번 행사는 한기대의 공용장비센터가 지난 약 20년간 다져 온 분석 인프라를 바탕으로 원자 단위 정밀 분석 역량을 대폭 확충하고, 이를 연계한 반도체 후공정 전문 연구지원 거점 센터의 공식 출범을 알리기 위해 마련됐다.
새로 도입된 '300kV 수차보정 투과전자현미경'은 네덜란드 써모피셔사이언티픽사의 최고 등급 전자현미경 장비다. 가속전압 300kV 전자총에서 방출된 전자가 시료의 원자 구조와 상호작용해 형성하는 회절 및 투과 이미지를 통해 나노미터를 넘어 원자 수준까지 관찰할 수 있다.
특히 에너지 분산형 X-선 분광기(EDS)가 탑재돼 나노 구조 시료의 정밀 성분 분석과 불량 원인 규명이 가능하다. 반도체·디스플레이 소재와 박막뿐만 아니라 금속, 섬유, 지질, 바이오, 환경, 에너지, 화학 등 미래 신소재 개발에 필수적인 내부 미세구조 분석을 지원할 예정이다.
또 공용장비센터 내 기존 집속이온빔(FIB) 장비와 연계한 '원스톱 시료 전처리-초정밀 분석 프로세스'를 구축해 시료 변질 없이 신속하고 정확한 분석 결과를 제공, 연구 및 기업 지원 속도를 획기적으로 높일 전망이다.
유길상 총장은 "첨단 300kV 수차보정 투과전자현미경이 대학 교육과 연구 역량을 한층 끌어올리고 산업현장에 더 기여할 수 있는 새로운 도약의 발판이 되길 기대한다"고 말했다.