충청북도 제공일본 반도체 소재 생산 기업인 JSR㈜가 충북 청주에 세계 최초 EUV(극자외선)용 MOR(Metal Oxide Resist) 생산거점을 구축했다.
30일 청주 오창 외투지역에서 JSR마이크로코리아㈜의 차세대 반도체 소재 생산공장 준공식이 열렸다.
JSR마이크로코리아는 2003년 오창에 설립된 일본 JSR의 한국법인으로, 이번 공장 신설을 통해 반도체 차세대 EUV용 포토레지스트인 MOR의 국내 생산 체계를 구축하게 됐다.
MOR은 EUV 노광공정에서 웨이퍼에 미세한 회로 패턴을 형성하는 데 사용되는 차세대 포토레지스트 소재다.
기존 소재보다 높은 EUV 흡수 특성 등을 바탕으로 반도체 초미세화에 대응하기 위한 핵심 소재로 주목받고 있다.
충청북도는 이번 JSR 생산거점 구축을 통해 충북의 반도체 초미세공정 핵심 소재의 공급망 경쟁력을 더욱 강화할 수 있을 것으로 내다보고 있다.
신용한 충북지사는 "JSR의 차세대 EUV용 MOR 생산공장이 오창에 준공된 것은 충북이 글로벌 반도체 소재 공급망의 전략 거점으로 자리매김하는 또 하나의 이정표"라며 "JSR마이크로코리아가 이곳을 기반으로 세계적인 반도체 소재기업으로 더욱 성장하기를 기대한다"고 말했다.
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